Blog

30 Nov: SECS / GEMコントローラー/ GUIソフトウェア

当社のスタッフは、1990年代半ばからPLC / IOコントローラを使用した自動化に携わってきました。彼らは、世界最高のHMI、SCADA、Historian、MES、およびその他の自動化ソフトウェア製品の開発チームの一員です。 私たちのコントローラー/ GUIソフトウェアの経験には以下が含まれます 複数のウェーハ処理、計測、レーザースクライブ装置用のコントローラー/ GUIソフトウェアの開発 複数のロードポートとトランスポートモジュールを備えたマルチチャンバー、クラスター機器用のソフトウェアの開発 ロードロックとトランスポートモジュールを備えた高真空機器用のソフトウェア開発の経験 プラズマエッチング装置全体を開発した業界初の企業 SECS / GEMを使用して、Androidで完全にゼロからソフトウェア 機器コントローラソフトウェアポートフォリオの部分的なリスト 複数のロードポートを備えたマルチチャンバープラズマエッチング装置と トランスポートモジュール に基づいて薄膜の応力を測定する計測機器ソフトウェア ウェーハのトポグラフィ レーザースクライブ装置

09 Sep: 晶圆厂自动化标准– SECS / GEM和EINNOSYS解决方案

定义和管理半导体制造,设备,自动化和其他相关领域的标准的组织是SEMI.org。它是半导体制造商和设备制造商的国际机构。 由SEMI定义的工厂自动化标准通常称为SECS / GEM标准,对于200mm晶圆处理,该标准包括四个主要标准:SECS-I(E4),SECS-II(E5),HSMS(E37)和GEM(E30)标准。 让我们了解每个标准涵盖的内容: SECS-I(E4):此标准是基于RS-232串行通信的通信协议。与HSMS相比,这要慢得多。 SECS-II(E5):此标准定义了设备和工厂主机之间如何以一系列流和功能消息的形式传递信息。 HSMS(E37):此标准定义了基于TCP / IP的通信协议。 GEM(E30):该标准不仅定义了如何使用核心SECS-II消息执行特定任务,例如事件报告,数据收集和配方管理,而且还考虑了与主机连接时设备的行为。 由于SECS / GEM是一种通信协议,因此它与技术,平台以及编程语言无关。连接的主机端在通常由fab提供的计算机系统上运行,而连接的设备端在由设备制造商提供的控制器计算机上执行。这给工厂和设备制造商带来了互操作性,灵活性和平台独立性。只要他们都遵守SECS / GEM标准,制造商和OEM都可以开发其软件应用程序而不必担心通信兼容性。 SECS / Gem标准通常使用单个连接来定义主机与设备之间的通信,但是也可以从一个以上的自动化系统到单个设备进行多个连接。 SECS定义的消息类型是部分不对称的-一些消息类型仅用于设备用途,其他消息类型仅用于主机,但是许多消息在任一侧都用于类似用途。…

03 Sep: SECS / GEM Plan-B服务

SECS / GEM Plan-B服务是为那些拥有内部软件开发人员或设备软件团队但几乎没有备份的OEM设计的。换句话说,每个开发人员都是他/她所在领域的专家,但是如果该人突然离开公司或下班休息,那么如果有客户问题,其他任何人都无法承担。 让我们成为您的Plan-B软件团队!这就像一个保险计划,再加上一个额外的带宽计划! 这个怎么运作 由于我们在设备软件的所有领域都经验丰富,因此我们的团队已经拥有技术和领域专业知识。我们需要的是熟悉您的开发环境和代码结构 根据软件的复杂程度,我们的团队成员将花费几天到几周的时间来熟悉您的环境,以使他们可以进行所需的更改,而不会损害软件的可靠性。 每隔几周,您的开发团队将使我们了解最新的代码更改 如果您需要使用已经熟悉您的环境的开发人员,请致电我们。 您还可以在需要时使用我们的团队为现有团队增加带宽。

01 Sep: 实施SECS / GEM和GEM300标准

EIGEMSim是eInnoSys的SECS / GEM软件产品,可以用作Fab主机或设备的仿真器,以进行一致性测试。 如果您已经从另一家公司购买了SECS / GEM或GEM300软件的许可证,eInnoSys仍然可以帮助您将该软件与您的控制器软件集成在一起,并在减少集成时间和成本方面受益于我们丰富的经验。 GEM300涵盖以下SEMI标准: E39 –对象服务标准 E40 –流程作业管​​理 E87 – CMS(运营商管理规范) E90 –基板追踪 E94 –控制工作管理 此外,工厂客户可能会要求遵循以下其他SEMI标准: E116…