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Wie helfen unsere SECS GEM Standard-Services?

1. Kommunikation

Die Kommunikation definiert das Verhalten des Geräts bezüglich des Vorhandenseins oder Fehlens einer Kommunikationsverbindung mit dem Host. Es gibt auch an, wie die Kommunikation mit S1F13/S1F14 hergestellt oder wieder aufgenommen wird, wenn sie getrennt ist. Mit unserer SECS/GEM-Software kann der Host einen einfachen Kommunikationsprozess haben.

2. Kontrolle

Das eInnosys CONTROL-Zustandsmodell im SECS/GEM-Protokoll gibt den Grad der Zusammenarbeit zwischen dem Host und der Ausrüstung an. Das KONTROLL-Paradigma bietet dem Wirt drei grundlegende Grade der Wirtskontrolle, die die Fähigkeit des Wirts festlegen, das Gerät zu steuern:

OFFLINE (unterste Ebene): Der an der Bedienkonsole arbeitende Bediener bedient die gesamte Anlage manuell. Das Gerät antwortet mit einem SxF0 auf jede direkte Nachricht vom Host außer S1F13 oder S1F17; das Gerät antwortet mit einem SxF0.

Online/Remote: Die höchste Betriebsstufe ist ONLINE/REMOTE, in diesem Fall steht es dem Host frei, das Gerät über die Kommunikationsschnittstelle im größtmöglichen Umfang zu nutzen.

3. Verarbeitung

Die Ausrüstungsmethode, -technologie und -konstruktion spielen alle eine bedeutende Rolle im PROCESSING-Zustandsmodell. Es wird jedoch erwartet, dass diese Modelle einige Eigenschaften gemeinsam haben werden.

4. Fernbefehl

eInnosys Equipment kann vom Host Anweisungen erhalten, um eine automatische Aufgabe auszuführen. Zum Beispiel START, STOP, PAUSE usw. Der vorgenannte Befehl ist vergleichbar mit der manuellen Aktion des Bedieners auf der Konsole.

5. Verschiedene Variablen

Es gibt drei verschiedene Arten von Variablen:

  • Statusvariable: Diese gerätedefinierte globale Variable ist “schreibgeschützt”. Die Vorrichtung aktualisiert die relevante Statusvariable jedes Mal, wenn eine Verarbeitung stattfindet, um die neuesten Informationen widerzuspiegeln. Zum Beispiel: ein inkrementeller Zähler, der aktuelle oder vergangene Zustand usw.
  • Gerätekonstante: Dies ist eine globale Variable, die gelesen und geschrieben werden kann. Mit den richtigen Techniken und Formeln kann der Host die konstanten Gerätevariablen ändern, die Einstellungen beeinflussen und letztendlich das Verhalten des Geräts ändern.
  • Kontinuierliche Variable: Diese Variable ist “lokal” und existiert nur in Sammlungsereignissen.

6. Datenerhebung

  • Der Benutzer kann den Befehl S1F3 verwenden, um eine Sammlung von Statusvariablenwerten anzufordern.
  • Der Befehl S2F13 hilft beim Abrufen einer Liste von Gerätekonstantenwerten.
  • Der Host kann Ablaufverfolgungen bereitstellen, die die Statusvariablendaten regelmäßig abtasten.
  • Utilizing alarm notifications to increase data gathering through collection events is another option. Whenever an alert occurs or is cleared, per standard, an event needs a transmission to the host.
  • Ein Bericht, der Statusvariablen und Datenvariablen enthält, kann vom Host definiert und an ein Erfassungsereignis angehängt werden. Der Bericht, der die Werte dieser Variablen enthält, wird gleichzeitig gesendet, wenn das Gerät das Ereignis auslöst (unter Verwendung der Anweisung S6F11).

7. Vollständige Dokumentation

Jeder Gerätelieferant muss ein GEM-Schnittstellen-Referenzhandbuch gemäß dem SECS/GEM-Standard anbieten. Eine Liste der Statusvariablen, Gerätekonstanten, Alarme, Erfassungsereignisse usw., die vom Gerät definiert oder unterstützt werden, ist ebenso erforderlich wie eine GEM-Konformitätserklärung und eine vollständige SECS-II-Meldungsdokumentation. Der EInnosys secs/gem Simulator hilft, die Ausrüstung oder die Fabrik je nach Anwendungsfall und Kommunikation zu stimulieren.

8 Alarmbenachrichtigung

Mit Hilfe dieser Funktion kann das Gerät den Host benachrichtigen, wann immer ein Alarm oder Fehler an dem Gerät auftritt oder behoben wird. Alarme sind ungewöhnliche, unerwünschte Ereignisse, die Personen, Eigentum oder verarbeitete physische Materialien gefährden.

Ausrüstung für die Arbeit an SEMI E30

Tools müssen eine minimale Teilmenge aller im E30-Standard aufgeführten Funktionen implementieren, um die grundlegenden GEM-Anforderungen zu erfüllen. Das Tool von EInnosys unterstützt idealerweise Fernsteuerung, Datenveröffentlichung und vollständiges Prozessmanagement. Einige Funktionen, wie z. B. Spooling (das Tool-Meldungen für eine spätere Zustellung speichert, wenn die Kommunikation zwischen dem Host und dem Tool unterbrochen ist) oder die Überwachung von Einschränkungen werden weniger häufig angefordert (ein einfacher Teil einer SPC-ähnlichen Analyse, die von der Ausrüstung gemeldet wird). Unsere SECS/GEM-Konnektivitätsgeräte bieten vollständige Konformität für alle im SEMI E30-Standard angegebenen Funktionen, unabhängig davon, was eine bestimmte Fabrik von Ihren Tools zu unterstützen verlangt.

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