SEMI、SECS、およびGEMについて話します。まず、これらの頭字語が何であるかを理解しましょう。
SECSは半導体機器通信規格を指し、GEMは製造機器の通信と制御のための汎用機器モデルを指し、SEMIは半導体機器材料イニシアチブを表します。
半導体機器材料イニシアチブ（SEMI）は、SECS / GEMと呼ばれる一連の標準を開発しました。これらの標準は、自動化された機器とホスト間の一連の通信プロトコルを定義するために使用されます。
SEMI規格は、1970年代のどこかで誕生しました。このような規格の導入の背後にある考え方は、小さいながらも活況を呈している半導体業界をサポートすることでした。 SEMIは、さまざまな半導体機器とファブホスト間の通信プロトコルに標準をもたらしました。これにより、機器またはファブのホスト固有の通信仕様が不要になりました。このように、これらの標準は、ネットワーク通信用にTCP / IPプロトコルを定義する方法、またはシリアル通信用にRS232を定義する方法に似ています。
以前は、半導体機器とファブホスト間の通信を処理するための標準的なプロセスはありませんでした。これは、半導体業界で高コストと低パフォーマンスをもたらしていました。そのため、この状況に対処するための標準的なプロセスが必要になりました。そこで、SECS / GEMのSEMI標準が誕生しました。
SECS / GEM標準は、ホストと機器の両方に実装する必要があります。機器は、E30、E4、E5、E30などのさまざまなSEMI標準を実装し、準拠する割り当てられたコンピューター上でソフトウェアを実行します。同様に、ホストソフトウェアを実行する工場は、機器と同じ「言語」で通信できるように、まったく同じSEMI標準を実装するために必要なソフトウェアを実装する必要があります。