当社の自動化スタッフには、半導体ウェーハの処理、パッケージング、テスト、および組み立てプロセスを深く理解している経験豊富な産業エンジニアが含まれ、工場の課題や問題に対処するために必要なカスタムソリューションを設計します。
eInnoSysは、Fab向けに次のすぐに使用できるシステムも提供しています。
EIGEMHost:ファクトリホスト用のSECS / GEMソフトウェア
EIGEMSim:SECS / GEMテスト用の機器およびホストシミュレータソフトウェア
EIRMS:レシピ管理システム–さまざまな機器タイプにわたるレシピ変更のバージョンと監査証跡を含むレシピを管理します
EIAMS:アラーム管理システム–機器、レポートなどでアラームが発生するとすぐに自動アクション(ユーザー定義)を実行します
EIPartsManager:スペアパーツ管理システム–スペアパーツのコスト、在庫、およびライフサイクルの管理を支援します。
EIBarcodeGuardian:化学物質の誤った注入を防ぎ、ファブ内の化学物質の在庫を管理します
EIQRSTS:-レチクル/クォーツ/サファイアトラッカー–工場内のレチクル/クォーツ/サファイアおよびその他の貴重なリソースを追跡するのに役立ちます
EIMWA:手動ウェットベンチ自動化–高価なアップグレードなしで、手動ウェットベンチでの誤ったバスディップによるウェーハの誤処理を防止します