近年、半導体産業をはじめとする製造業界では、自動化技術の進化がますます重要視されています。その中でも、SECS / GEMプロトコルを利用したコントローラーとGUIソフトウェアは、機器とホストシステム間の通信を効率化し、生産性を向上させる重要な役割を果たしています。
当社では、1990年代半ばからPLC（プログラマブルロジックコントローラ）やIOコントローラを活用した自動化技術に取り組んでおり、世界トップクラスのHMI（ヒューマンマシンインターフェース）、SCADA（監視制御とデータ収集）、ヒストリアン、MES（製造実行システム）、その他多岐にわたる自動化ソフトウェアの開発に携わってきた実績があります。以下に、当社の経験と開発実績についてご紹介します。
当社のコントローラーおよびGUIソフトウェアの特徴
複数のウェーハ処理および計測装置の開発
ウェーハ処理、計測、レーザースクライブ装置向けの高性能コントローラーおよびGUIソフトウェアを開発してきました。これにより、精密な制御とリアルタイムデータの取得が可能となり、製造プロセスの効率化に大きく貢献しています。
マルチチャンバー装置向けソフトウェア開発
複数のロードポートとトランスポートモジュールを備えたクラスター機器に対応するソフトウェアを開発し、複雑な製造プロセスを一元管理するための柔軟なソリューションを提供しています。
高真空機器用ソフトウェアの開発経験
高真空環境で動作するロードロックおよびトランスポートモジュールを備えた装置向けのソフトウェア開発を手掛けており、厳しい条件下での精密な制御を実現しています。
業界初のプラズマエッチング装置の開発
当社は、プラズマエッチング装置全体を開発した業界初の企業の一員として、半導体製造技術の革新をリードしてきました。
AndroidベースのSECS / GEMソフトウェア
SECS / GEMを活用し、Androidデバイス向けにゼロから完全なソフトウェアを構築した実績もあります。これにより、モバイルプラットフォームでの操作性と利便性を向上させました。
当社のポートフォリオの一部
以下は、当社が開発した機器コントローラソフトウェアの一部です：
- マルチチャンバープラズマエッチング装置向けソフトウェア
複数のロードポートとトランスポートモジュールを統合したソリューションを提供し、効率的なプロセス制御を実現しています。 - 薄膜応力を測定する計測機器ソフトウェア
ウェーハのトポグラフィや薄膜の特性を正確に測定する計測装置向けソフトウェアを開発しました。 - レーザースクライブ装置の制御ソフトウェア
精密なレーザープロセスを可能にするための制御とデータ収集機能を備えたソリューションを提供しています。
まとめ
当社のSECS / GEMコントローラーおよびGUIソフトウェアは、半導体業界の生産効率と品質向上に寄与しています。長年の経験と実績を基に、柔軟で高度なソリューションを提供し、製造現場の課題解決を支援します。SECS / GEMプロトコルやコントローラー/ GUIソフトウェアの導入をお考えの方は、ぜひ当社にお問い合わせください。
未来の製造業を支えるソフトウェアソリューションで、競争力を強化しましょう。