SECS (SEMI 장비 통신 표준) 및 GEM (일반 장비 모델)은 반도체 장비와 팹 호스트 간의 통신을 위한 인터페이스 프로토콜입니다. 팹 호스트는 SECS/GEM 프로토콜을 사용하여 장비 프로세스를 모니터링하고 제어하는 소프트웨어 애플리케이션입니다. SECS/GEM 호환 장비는 TCP/IP(SEMI 표준 E37 및 E37.1 – HSMS 사용) 또는 RS-232(SEMI 표준 E4 – SECS-I 사용)를 통해 팹 호스트와 통신할 수 있습니다. 이 표준 인터페이스를 통해 장비 프로세스를 시작하고, 측정 데이터를 수집하며, 제품 레시피를 선택하고, 변수를 수정하는 작업을 표준화된 방식으로 수행할 수 있습니다.
SECS/GEM 프로토콜은 비영리 단체인 SEMI(반도체 장비 및 재료 국제)에 의해 표준화되었습니다. SEMI 표준 및 SECS/GEM 프로토콜에 대한 자세한 내용은 www.SEMI.org에서 확인할 수 있습니다.
SECS/GEM 개요
간단히 말해, SECS/GEM 표준은 메시지, 상태 머신 및 시나리오를 정의하여 팹 호스트 애플리케이션이 제조 장비를 제어하고 모니터링할 수 있도록 합니다. 공식적으로 SEMI 표준 E30으로 지정된 GEM 또는 SECS/GEM 표준은 장치 제조업체 및 장비 공급업체 모두를 위해 공통적인 장비 동작과 통신 기능을 정의하여 유연성을 제공하고 제조를 지원합니다. GEM은 반도체 전용 기능이 거의 없기 때문에 태양광(PV)과 같은 다른 제조 산업에서도 채택되었습니다.
SECS/GEM 표준에서 제공하는 주요 기능
- 팹 호스트가 장비 프로세스를 시작 및 중지할 수 있음.
- 팹 호스트가 장비로부터 레시피를 선택, 다운로드 및 업로드할 수 있음.
- 다양한 공정 매개변수 및 장비 구성 값을 쿼리할 수 있음.
- 팹 호스트가 장비 구성 매개변수 값을 설정할 수 있음.
- 장비가 팹 호스트에 경고를 보낼 수 있음.
- 다양한 변수의 보고서를 정의하고 이를 이벤트(예: 로트 시작 또는 웨이퍼 완료)와 연결할 수 있음.
- 장비가 다양한 이벤트 및 관련 보고서를 팹 호스트에 전송할 수 있음.
SECS/GEM은 통신 프로토콜로, 프로그래밍 언어와 독립적이며 플랫폼 및 기술에 구애받지 않습니다. 팹 측 연결은 팹에서 제공한 컴퓨터 시스템에서 실행되고, 장비 측 연결은 장비 제조업체에서 제공한 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이를 통해 팹과 장비 제조업체 모두 상호 운용성, 유연성, 플랫폼 독립성을 확보할 수 있습니다.
eInnoSys의 SECS/GEM 솔루션
eInnoSys는 팹(FAB) 및 장비 제조업체(OEM)를 위한 SECS/GEM 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. OEM은 eInnoSys의 EIGEMBox 플러그 앤 플레이 소프트웨어를 장비 컨트롤러 소프트웨어와 통합하여 장비의 SECS/GEM 지원에 소요되는 비용과 시간을 대폭 줄일 수 있습니다. 또한, EIGEMHost는 팹 및 ATM(조립 및 테스트 제조)이 공장의 다양한 장비와 통신하기 위한 SECS/GEM 소프트웨어입니다. EIGEMSim은 SECS/GEM 테스트를 위한 시뮬레이터 소프트웨어로, 호스트 또는 장비로 구성하여 다른 시스템과의 통신을 테스트할 수 있습니다.
SECS 통신 구조
SECS는 단일 연결을 사용하여 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 정의합니다. 대부분의 기존 및 현재 시나리오에서 장비는 단일 호스트 전용 SECS 인터페이스를 제공합니다. SECS에서 정의된 메시지 유형은 부분적으로 비대칭적이며, 일부 메시지는 호스트 전용, 다른 메시지는 장비 전용으로 정의됩니다.
SECS 표준에는 메시지에 장치 식별 값을 지정하여 연결을 공유하는 규정이 있지만, 최신 배포에서는 연결 공유 방법이 권장되지 않습니다. 연결은 장기간 유지되며, 장비나 호스트가 재부팅되는 경우에만 중단됩니다. SECS 연결은 가볍고 네트워크 대역폭을 거의 사용하지 않으므로 일반적인 데스크탑 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 효율적으로 실행할 수 있습니다.
SECS/GEM 프로토콜을 채택하면 제조업체와 장비 공급업체는 향상된 상호 운용성과 원활한 통신을 통해 제조 효율성을 높이고, 스마트 제조 및 Industry 4.0 이니셔티브를 위한 강력한 기반을 마련할 수 있습니다.