SECS / GEM ist ein Industriestandard, der den Standardprozess der Kommunikation zwischen Geräten und Fab-Host-Software für Steuerungs- und Überwachungszwecke definiert….
SECS / GEM ist ein Industriestandard, der den Standardprozess der Kommunikation zwischen Geräten und Fab-Host-Software für Steuerungs- und Überwachungszwecke definiert….