SECS / GEM ist ein Industriestandard, der den Standardprozess der Kommunikation zwischen Geräten und Fab-Host-Software für Steuerungs- und Überwachungszwecke definiert. Durch den Anschluss von SECS / GEM-Geräten können Fabriken sofort betriebliche Vorteile erzielen. Factory-Hosts können Daten auf verschiedene Arten erfassen. Zusammen mit Ereignisberichten muss der Fab-Host das Gerät häufig nach aktuellen Datenwerten abfragen. Der Host kann Datenwerte direkt anfordern oder regelmäßig in einem Ablaufverfolgungsbericht abgetastet werden. Dieser Vorgang wird als Datenabfrage bezeichnet
In den SECS / GEM-Standards sind drei Kategorien von Datenelementen definiert:
Statusvariablen (SV)
Statusvariablen sind Datenelemente, die den Status des Geräts oder einer seiner Komponenten wie Sensoren, Messgeräte usw. identifizieren. Beispiele für Statusvariablen für Prozessgeräte sind: Temperatur, Druck, Gasflüsse, HF-Vorwärtsleistung, Schleuderdrehzahl, usw. Diese Datenelemente sind im Allgemeinen nicht an Ereignisse wie Chargenstart, Waferstart usw. gebunden. Ein Factory-Host kann die Statusvariablen jederzeit an das Gerät abfragen oder die Einrichtung von Trace-Daten definieren, über die das Gerät nach dem Status gefragt wird Variablen in regelmäßigen Abständen. Ein Factory-Host kann die Statusvariablen des Geräts nicht ändern.
Datenwertvariablen (DV)
Datenwertvariablen sind Datenelemente, die sich auf ein bestimmtes Ereignis beziehen, z. B. Chargenstart, Alarm / Fehler am Gerät, Wafer-Verarbeitung / Messung abgeschlossen usw. Beispiele für Datenwertvariablen sind – LotID, SlotNumber, CurrentRecipe usw. Diese Variablen ändern sich nur, wenn ein bestimmtes Ereignis eintritt, z. B. das Auswählen eines Rezepts, das Starten der Losverarbeitung usw. Ein Factory-Host fragt Datenwertvariablen ab, indem er Berichte definiert und die Berichte Ereignissen zuordnet.
Im Gegensatz zu Statusvariablen haben Datenwertvariablen möglicherweise keinen Wert. Eine der Datenwertvariablen ist beispielsweise AlarmID, die die ID des letzten Alarms angibt. Es kann jedoch leer sein, wenn seit dem Einschalten des Geräts keine Alarme aufgetreten sind. Ein Factory-Host kann die Datenvariablen des Geräts nicht ändern.
Ausrüstungskonstanten (EC)
Gerätekonstanten sind Datenelemente, die sich auf die Konfiguration des Geräts beziehen. Sie können Elemente enthalten, die sich auf die Gerätehardware, -software oder die SECS / GEM-Software beziehen. Im Gegensatz zu Statusvariablen und Datenwertvariablen kann ein Factory-Host Gerätekonstanten über SECS-Nachrichten ändern. Beispiele für Gerätekonstanten sind: PumpDown-Zeitlimit, Geräte-Standby-Zeit, Pins Up Wait usw.
Dateneigenschaften:
Die oben aufgeführten Datentypen haben ähnliche Eigenschaften, sodass Sie die Daten bequem definieren können. Der Ausrüstungslieferant muss diese Eigenschaften in einem SECS / GEM-Handbuch angeben, damit der Fab-Host die Daten verstehen und mit ihnen kommunizieren kann. Im Folgenden sind einige wichtige Dateneigenschaften der Datentypen aufgeführt:
ID – Dies ist eine numerische ID, die in der SECS / GEM-Schnittstelle eindeutig sein muss. Diese IDs können nach Datentyp gruppiert werden und werden als SVIDs (Statusvariablen-IDs), DVIDs (Datenvariablen-IDs) und ECIDs (Sammlungsereignis-IDs) bezeichnet.
Name – Dies ist ein Name, der einem Datenelement zugewiesen wird, damit wir es leicht identifizieren können.
Format – Datentyp des Elements.
Datenformate können einfach (numerisch, ASCII, Boolean) oder komplex (Arrays, Listen, Strukturen) sein. Beispielsweise können numerische Typen I1, I2, I4, I8 (vorzeichenbehaftete Ganzzahltypen mit unterschiedlicher Bytelänge), U1, U2, U4, U8 (vorzeichenlose Ganzzahltypen) und F4 oder F8 (Gleitkommatypen) sein.
Array-Typen und Liste enthalten mehrere Werte im Datenelement. Beispielsweise werden Bilddaten als Byte-Array formatiert.
Strukturtypen enthalten einen bestimmten Datentyp. Beispielsweise kann eine Variable eine Schlitzzuordnung darstellen, die Trägerinformationen und auch eine Liste von Schlitzen mit ihrem Waferplatzierungsstatus enthält.
Wert – Dies ist der tatsächliche Wert des Datenelements. Datenwerte liegen in einem genauen, effizienten und selbstbeschreibenden Binärformat vor, sodass der Host die Daten leicht interpretieren kann. Das Datenformat ermöglicht die Erfassung von mehr Daten und mit mehr Effizienz.
Alarme und Sammelereignisse (CE) haben auch IDs und Namen zur Identifizierung.
Datenabfrage:
Der Fab-Host erhält häufig regelmäßig Daten über Ereignisberichte und Ablaufverfolgungsberichte, die er definiert. SECS / GEM bietet auch ein System, mit dem der Fab-Host Daten basierend auf seinen Anforderungen abfragen kann.