Der SECS-Standard (SKommunikationsstandards für EMI-Geräte) und der GEM-Standard (Generisches Modell für die Kommunikation und Steuerung von Fertigungsanlagen) werden von SEMI.org veröffentlicht und gepflegt. Eine internationale Organisation von Halbleiterherstellern ist eine Organisation, die den Standard für die Halbleiterherstellung regelt.
Es ist das Hauptkommunikationsprotokoll, das in der Automatisierung für die (anfänglich) Halbleiter- / Elektronikindustrie verwendet wird. Heute ist es jedoch auch in der Photovoltaik- und SMT-Industrie weit verbreitet.
Es bietet eine Kommunikationsschnittstelle zwischen Geräten und Hostsystemen.
Im Gegensatz zu anderen Kommunikationsprotokollen wie SPS können Geräte verschiedener Anbieter mithilfe eines standardmäßigen und konsistenten Protokolls mit verschiedenen Arten von Hostsystemen kommunizieren.
Um die SECS / GEM-Standards zu verstehen, müssen Sie die folgenden 3 Grundstandards von SEMI erwerben:
SEMI E30 GEM Standard – Dies ist das “Gehirn”, das das Verhalten von Geräten (Geschäftsregeln), Zustandsautomaten und einigen Regeln definiert, z. B. welche SECS-II-Nachrichten in welchen Situationen verwendet werden sollen und welche Aktivitäten daraus resultieren sollen. Außerdem werden die Funktionen wie Statusdatenerfassung, Ablaufverfolgungsdatenerfassung, Alarmverwaltung, Spooling, Remote Command usw. definiert.
SEMI E5 SECS-II – Definiert die Details der Interpretation von Nachrichten (APIs), die zwischen Geräten eines Hosts ausgetauscht werden. Außerdem werden die Datenstruktur der Nachrichteneingaben / -ausgänge, das Datenelementformat, die Bestätigungscodes usw. definiert.
SEMI E37 HSMS – Hochgeschwindigkeits-SECS-Nachrichtendienste. Dies ist eine Transportschicht, die auf dem TCP / IP-Protokoll basiert und ein Nachfolger des vorherigen SEMI E4 SECS-I-Standards ist, der auf serieller Kommunikation basiert. Dies ist auch die Schicht, auf der die SECS-II-Nachrichten im HSMS-Nachrichtenformat codiert werden.
Zu den Fähigkeiten, die der SECS/GEM-Standard bietet, gehören:
- Damit ein Fab-Host die Verarbeitung starten und stoppen kann
- Für einen fabelhaften Gastgeber, um Rezepte von/auf die Ausrüstung auszuwählen, herunterzuladen und hochzuladen
- Für einen Fab-Host, um die Ausrüstung nach Werten verschiedener Prozessparameter und Ausrüstungskonfigurationen abzufragen
- Für einen Fab-Host, um Gerätekonfigurationsparameterwerte einzustellen
- Damit Geräte Alarme an den Fab-Host senden können
- Für einen Fab-Host, um Berichte verschiedener Variablen zu definieren und sie Ereignissen wie Losstart oder zuzuordnen Waffel komplett
- Damit Geräte verschiedene Ereignisse und zugehörige Berichte an den Fab-Host senden können