반도체 제조, 장비, 자동화 및 기타 관련 분야의 표준을 정의하고 관리하는 조직은 SEMI.org입니다. 반도체 제조업체 및 장비 제조업체를위한 국제기구입니다.
SEMI에서 정의한 공장 자동화 표준은 일반적으로 SECS / GEM 표준으로 알려져 있으며, 200mm 웨이퍼 처리의 경우 SECS-I (E4), SECS-II (E5), HSMS (E37) 및 GEM (E30)의 4 가지 주요 표준으로 구성됩니다. 표준.
각 표준에서 다루는 내용을 이해합니다.
SECS-I (E4) :이 표준은 RS-232 직렬 통신을 기반으로하는 통신 프로토콜입니다. HSMS에 비해 속도가 훨씬 느립니다.
SECS-II (E5) :이 표준은 일련의 스트림 및 기능 메시지 형태로 장비와 팩토리 호스트간에 정보가 전달되는 방식을 정의합니다.
HSMS (E37) :이 표준은 TCP / IP를 기반으로하는 통신 프로토콜을 정의합니다.
GEM (E30) :이 표준은 핵심 SECS-II 메시지를 사용하여 이벤트 보고서, 데이터 수집 및 레시피 관리와 같은 특정 작업을 수행하는 방법을 정의 할뿐만 아니라 호스트와 인터페이스 할 때 장비의 동작을 관리합니다.
SECS / GEM은 통신 프로토콜이므로 기술, 플랫폼 및 프로그래밍 언어와 무관합니다. 연결의 호스트 쪽은 일반적으로 fab에서 제공하는 컴퓨터 시스템에서 실행되고 연결의 장비 쪽은 장비 제조업체에서 제공 한 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이는 공장뿐만 아니라 장비 제조업체의 상호 운용성, 유연성 및 플랫폼 독립성을 제공합니다. 팹과 OEM은 SECS / GEM 표준을 준수하는 한 통신 호환성에 대해 걱정할 필요없이 소프트웨어 애플리케이션을 개발할 수 있습니다.
SECS / Gem 표준은 일반적으로 단일 연결을 사용하여 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 정의하지만 둘 이상의 자동화 시스템에서 단일 장비로의 다중 연결이 가능합니다. SECS에 의해 정의 된 메시지 유형은 부분적으로 비대칭입니다. 일부 메시지 유형은 장비 용도로만 정의되고 다른 메시지 유형은 호스트에만 정의되지만 많은 메시지가 양쪽에서 비슷한 용도로 사용됩니다.
새 배포에는 연결 공유 방법이 권장되지 않습니다. 연결이 오랜 시간 동안 유지되고 장비 나 호스트가 재부팅 된 경우에만 중단되는 것이 현명합니다. SECS 연결은 가벼우 며 많은 네트워크 대역폭을 사용하지 않습니다. 간단한 데스크탑 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 실행할 수 있습니다.
대부분의 반도체, 태양 전지, FPD 및 LED 제조 공장은 SECS / GEM 표준을 준수하는 장비를 요구합니다. SECS / GEM 표준에 익숙하지 않은 사람들은 장비 소프트웨어에서 이러한 표준을 배우고 구현하는 것이 매우 복잡하고 까다 롭고 시간 소모적 일 수 있으므로 eInnoSys는 장비 제조업체를위한 SECS / GEM 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 공장으로. OEM은 eInnoSys의 EIGEME 장비 플러그 앤 플레이 소프트웨어를 장비의 장비 컨트롤러 소프트웨어와 통합하여 장비 SECS / GEM을 호환 가능하게 만드는 데 걸리는 시간과 비용을 크게 줄일 수 있습니다. 마찬가지로 EIGEMHost는 FAB 및 ATM (어셈블리 및 테스트 제조)이 공장의 다양한 장비와 통신하기위한 SECS / GEM 소프트웨어입니다. EIGEMSim은 SECS / GEM 테스트를위한 시뮬레이터 소프트웨어입니다. 다른 장비의 SECS / GEM 통신을 테스트하기 위해 장비 또는 호스트로 시뮬레이션하는 데 사용할 수있는 소프트웨어입니다.