在将子工具（例如SMIF或FOUP，机器人处理程序，PLC，RFID阅读器或任何其他设备）集成到设备中时，您需要不仅具有技术知识和领域专业知识的人员，而且还需要了解您的设备将如何在晶圆厂中使用以及客户对您工具自动化功能的期望是什么？ eInnoSys具有将来自不同制造商的各种子工具和设备与设备控制器软件集成在一起的经验，并为整个集成设备提供SECS / GEM功能。此外，由于我们在Fab自动化系统上提供服务，因此我们了解您的客户对设备软件的期望，以便更好地将其与工厂系统集成
专业领域
FOUP
SMIF
机器人搬运工
可编程逻辑控制器
射频识别
IO耦合器，相机和传感器等单个设备