SECS（SEMI Equipment Communications Standard）/ GEM（Generic Equipment Model）は、半導体機器とファブホスト間の通信用の通信インターフェースプロトコルです。 Fabホストは、SECS / GEMプロトコルを使用して機器の処理を制御および監視するソフトウェアアプリケーションです。 SECS / GEM準拠の機器は、TCP / IP（SEMI標準E37およびE37.1 – HSMSを使用）またはRS-232（SEMI標準E4 – SECS-Iを使用）のいずれかを使用してファブホストと通信できます。 SECS / GEM標準インターフェースは、機器処理の開始と停止、測定データの収集、製品のレシピの選択、および変数の変更に使用されます。 SECS / GEMを使用すると、これらすべてを標準的な方法で実行できます。 SECS / GEMプロトコルは、非営利団体SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）によって標準化されています。 SEMI規格とSECS / GEMプロトコルの詳細については、www.SEMI.orgを確認してください。
簡単に言うと、SECS / GEM標準は、メッセージ、ステートマシン、およびシナリオを定義して、工場のホストアプリケーションが製造装置を制御および監視できるようにします。 GEM標準は正式にはSEMI標準E30として指定されていますが、GEMまたはSECS / GEM標準と呼ばれることもあります。 GEMは、機能と製造をサポートする柔軟性を提供するための機器の動作と通信機能の共通セットを定義するため、デバイスメーカーと機器サプライヤーの両方にとって有益です。 GEM規格には半導体固有の機能が少ないため、PVなどの他の製造業でも採用されています。
SECS / GEM標準によって提供される機能の中には–
- ファブホストが処理を開始および停止する場合
- ファブホストが機器との間でレシピを選択、ダウンロード、およびアップロードする場合
- ファブホストがさまざまなプロセスパラメータと機器構成の値について機器にクエリを実行する場合
- ファブホストが機器構成パラメーター値を設定する場合
- ファブホストにアラームを送信する機器の場合
- ファブホストがさまざまな変数のレポートを定義し、それらをロット開始やウェーハ完了などのイベントに関連付ける場合
- さまざまなイベントおよび関連するレポートをファブホストに送信するための機器
SECS / GEMは通信プロトコルであるため、プラットフォームとテクノロジー、およびプログラミング言語に依存しません。接続のホスト側は、工場が提供するコンピューターシステムで実行され、接続の機器側は、機器メーカーが提供するコントローラーコンピューターで実行されます。これにより、ファブと機器メーカーの相互運用性、柔軟性、およびプラットフォームの独立性の両方が得られます。ファブとOEMはどちらも、SECS / GEM標準に準拠している限り、通信の互換性を心配することなくソフトウェアアプリケーションを開発できます。
eInnoSysは、機器メーカー（OEM）および工場（FABまたはATM）向けにSECS / GEMソフトウェアソリューションを提供します。 eInnoSysのEIGEMEquipmentプラグアンドプレイソフトウェアを機器の機器コントローラーソフトウェアと統合することにより、OEMは、機器をSECS / GEM対応にするためにかかるコストと時間を大幅に削減できます。同様に、EIGEMHostは、FABおよびATM（アセンブリおよびテスト製造）が工場内のさまざまな機器と通信するためのSECS / GEMソフトウェアです。 EIGEMSimは、SECS / GEMテスト用のシミュレータソフトウェアです。これは、他のSECS / GEM通信をテストするためのホストまたは機器として構成できるソフトウェアです。
SECSは、単一の接続を使用したホストコンピューターと機器間の通信を記述します。元の概念では、そして今日でも最も一般的なシナリオでは、機器は単一のホストによって排他的に使用される単一のSECSインターフェースを提供します。 SECSによって定義されたメッセージタイプは部分的に非対称です。一部のメッセージタイプはホスト専用に定義され、その他は機器専用に定義されていますが、それらの多くはどちらの側でも同じ用途に定義されています。
ただし、SECS標準には、各メッセージでデバイス識別値を指定して接続を共有するための規定があります。新しい展開では、接続の共有を行うことはお勧めしません。接続は長期間維持され、機器またはホストが再起動された場合にのみ中断されるのが一般的な方法です。 SECS接続は軽量で、ネットワーク帯域幅をあまり使用しません。一般的なデスクトップコンピュータで複数のSECS接続を実行することが可能です。