SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和Fab主机之间通信的通信接口协议。 Fab主机是一个软件应用程序，它使用SECS / GEM协议来控制和监视设备处理。符合SECS / GEM的设备可以使用TCP / IP（使用SEMI标准E37和E37.1 – HSMS）或RS-232（使用SEMI标准E4 – SECS-1）与fab主机进行通信。 SECS / GEM标准界面用于启动和停止设备处理，收集测量数据，选择产品配方以及更改变量。使用SECS / GEM，所有这些都可以以标准方式执行。 SECS / GEM协议已由非营利性协会SEMI（半导体设备和材料国际）标准化。请访问www.SEMI.org，以了解有关SEMI标准和SECS / GEM协议的更多信息。
简而言之，SECS / GEM标准定义了消息，状态机和方案，以使工厂主机应用程序能够控制和监视制造设备。 GEM标准被正式指定为SEMI标准E30，但经常被称为GEM或SECS / GEM标准。 GEM对设备制造商和设备供应商均有利，因为它定义了一组通用的设备行为和通信功能，以提供功能以及支持制造的灵活性。由于GEM标准仅具有一些特定于半导体的功能，因此它已被其他制造行业所采用，例如PV。
SECS / GEM标准提供的功能包括–
- 让fab主机开始和停止处理
- 供晶圆代工主机从设备中选择，下载和上传配方
- 供晶圆代工厂主机查询设备以获取各种工艺参数和设备配置的值
- 供Fab主机设置设备配置参数值
- 用于设备向Fab主机发送警报
- 为晶圆代工主持人定义各种变量的报告，并将其与诸如批量开始或晶圆完成等事件相关联
- 使设备将各种事件和相关报告发送到Fab主机
由于SECS / GEM是一种通信协议，因此它与平台和技术以及编程语言无关。连接的主机侧在工厂提供的计算机系统上执行，连接的设备侧在设备制造商提供的控制器计算机上运行。这给晶圆厂和设备制造商带来了互操作性，灵活性和平台独立性。只要工厂和OEM都遵守SECS / GEM标准，他们就可以开发其软件应用程序而不必担心通信兼容性。
eInnoSys为设备制造商（OEM）和工厂（FAB或ATM）提供SECS / GEM软件解决方案。通过将eInnoSys的EIGEMEquipment即插即用软件与设备的设备控制器软件相集成，OEM可以显着降低使他们的设备具有SECS/GEM功能的成本和时间。同样，EIGEMHost是用于FAB和ATM（组装和测试制造）的SECS / GEM软件，可与工厂中的各种设备进行通信。 EIGEMSim是用于SECS / GEM测试的模拟器软件。它是一款可以配置为主机或设备，以测试彼此的SECS / GEM通信的软件。
SECS描述了使用单个连接的主机与设备之间的通信。在最初的概念中，甚至在当今最常见的情况下，设备都提供单个SECS接口，供单个主机专用。由SECS定义的消息类型是部分不对称的-一些消息类型仅为主机使用而定义，其他消息类型仅为设备定义，但也有许多消息双方被定义为相同用途。
但是，SECS标准中规定通过在每个消息中指定设备标识值来共享连接。不建议将连接共享的做法用于新部署。通常的做法是保持连接很长一段时间，并且仅在设备或主机重新启动后才中断连接。 SECS连接是轻量级的，不占用太多网络带宽。在典型的台式计算机上可以运行多个SECS连接。